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平面伺服馬達LMSP
平面伺服馬達藉由空氣軸承并整合位置感測器，可于單一定子上放置多顆動子。 ? 雙軸定位平臺 ? 整合位置感測器可作閉回路控制 ? 采用空氣軸承故無磨耗 ? 磁場不外漏，不影響周圍設備 ? 無溫升問題，系統(tǒng)精度相對穩(wěn)定 ? 可倒吊安裝 0.001mm 重現(xiàn)精度 定子大面積 1000x1000mm 0.001mm 高分辨率
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